濾光片膜層厚度的均勻性是指膜厚隨著基板表面位置變化而變化的情況。膜厚均勻性不好,膜系特性會遭到嚴重的破壞,所以薄膜厚度的均勻性如同薄膜厚度監控一樣是一個重要的課題。

對于不同的薄膜往往有不同的均勻性要求。對單層MgF2減反射膜,若膜厚為λ0/4(λ0=520nm),則均勻性誤差一般不得超過40nm,否則就會在同一基板上出現不同顏色。要求最嚴格的是窄帶濾光片,其均勻性誤差所引起的整個濾光片表面上的峰值波長變化不能大于半寬度的0.3倍。對于一個直徑不大于50mm、在可見光區半寬度不小于20nm的濾光片,這個要求不算太高,但是對于更大直徑和更窄半寬度的濾光片問題就非常突出。對截止陡度要求很高的截止濾光片也是同樣,均勻性不好將導致過渡性嚴重惡化。

兆九光電憑借技術上的優勢,生產的濾光片都具有極佳的均勻性,得到了客戶的一致好評。